"FMA-LP2600A系列質(zhì)量流量控制器在層流場中使用差壓原理來檢測并控制質(zhì)量流量。流量計中的層流元件(LFE)迫使氣體進入層流狀態(tài)（經(jīng)過整流處理）。按照泊肅葉方程，在這一區(qū)域體積流量與壓降呈線性關(guān)系。使用差壓傳感器測量LFE固定距離的壓降情況。同時結(jié)合氣體的粘度準確判定體積流量。引入單獨的絕/對溫度和壓力傳感器，并根據(jù)一系列標準條件修正氣體流量。這種標準化流量通常稱為質(zhì)量流量，使用標準立方厘米/分鐘(SCCM)或標準升/分鐘(SLM)等單位表示。

控制器使用真正的比例閥聯(lián)接到流體，以便使用積分式PID回路控制器來控制流量。標準設(shè)備包括0 ~ 5V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通信?？蓮那岸随I盤或通過RS232通信調(diào)整氣體選擇功能和設(shè)定值。體積流量、質(zhì)量流量、絕/對壓力以及溫度均可通過RS232連接查看或記錄。在距離為46m（150’）的同一串口連接上，同時至多可與26臺設(shè)備進行多點通信。

產(chǎn)品規(guī)格

精度：±(0.8%讀數(shù)+0.2% FS)

重復(fù)性：±0.2% FS

調(diào)節(jié)比：200:1

控制響應(yīng)時間：100 ms

輸入控制信號：0~5 Vdc，RS232

輸出信號：0~5 Vdc，RS232

可選輸入/輸出：4~20 mA，0~10 Vdc

工作溫度：-10~50℃（14~122℉）

零點漂移：0.02%/ATM FS/℃

量程漂移：0.02%/ATM FS/℃

濕度范圍：0~100% RH，無冷凝

附加流速：2.4% FS

接濕材料：標配：303和302 SS，F(xiàn)KM，硅樹脂TRV（橡膠），玻璃增強尼龍，鋁，黃銅，410 SS，硅樹脂，玻璃；>250 SLM：416 SS和鎳替代黃銅

-LSS（選項）：316LSS，303SS，430FRSS，全氟彈性體標準，F(xiàn)KM，EPDM，丁納橡膠，氯丁橡膠

至大壓力：50 psig

在體積模式下使用：近大氣壓，建議至大值為15 psig。體積流量計和控制器未針對質(zhì)量流速高于流量計額定流量范圍的情況進行精度認證。它們僅適用于接近大氣壓的條件。至大工作壓力建議為15 psig

電源電流：20 SLM及以下為0.250 A；50 SLM及以上（典型值）為0.75 A

電源電壓：2 SLM及以下設(shè)備為15-30 Vdc；5 SLM及以上設(shè)備為24-30 Vdc

電氣連接：8針圓形Mini-DIN"

訂貨信息：

質(zhì)量流量計 型號	4 to 20 mA output 型號	Two 4 to 20 mA output 型號	Two 0 to 5V output 型號	連接	至大流量
FMA-LP2601A	FMA-LP2601A-I	FMA-LP2601A-I2	FMA-LP2601A-V2	10 - 32 thread	0.5 SCCM
FMA-LP2602A	FMA-LP2602A-I	FMA-LP2602A-I2	FMA-LP2602A-V2	10 - 32 thread	1 SCCM
FMA-LP2614A	FMA-LP2614A-I	FMA-LP2614A-I2	FMA-LP2614A-V2	10 - 32 thread	2 SCCM
FMA-LP2615A	FMA-LP2615A-I	FMA-LP2615A-I2	FMA-LP2615A-V2	10 - 32 thread	5 SCCM
FMA-LP2603A	FMA-LP2603A-I	FMA-LP2603A-I2	FMA-LP2603A-V2	10 - 32 thread	10 SCCM
FMA-LP2616A	FMA-LP2616A-I	FMA-LP2616A-I2	FMA-LP2616A-V2	10 - 32 thread	20 SCCM
FMA-LP2604A	FMA-LP2604A-I	FMA-LP2604A-I2	FMA-LP2604A-V2	1?? FNPT	50 SCCM
FMA-LP2617A	FMA-LP2617A-I	FMA-LP2617A-I2	FMA-LP2617A-V2	1?? FNPT	100 SCCM
FMA-LP2618A	FMA-LP2618A-I	FMA-LP2618A-I2	FMA-LP2618A-V2	1?? FNPT	200 SCCM
FMA-LP2619A	FMA-LP2619A-I	FMA-LP2619A-I2	FMA-LP2619A-V2	1?? FNPT	500 SCCM
FMA-LP2620A	FMA-LP2620A-I	FMA-LP2620A-I2	FMA-LP2620A-V2	1?? FNPT	1 SLM
FMA-LP2605A	FMA-LP2605A-I	FMA-LP2605A-I2	FMA-LP2605A-V2	1?? FNPT	2 SLM
FMA-LP2606A	FMA-LP2606A-I	FMA-LP2606A-I2	FMA-LP2606A-V2	1?? FNPT	5 SLM
FMA-LP2607A	FMA-LP2607A-I	FMA-LP2607A-I2	FMA-LP2607A-V2	1?? FNPT	10 SLM
FMA-LP2608A	FMA-LP2608A-I	FMA-LP2608A-I2	FMA-LP2608A-V2	1?? FNPT	20 SLM
FMA-LP2609A	FMA-LP2609A-I	FMA-LP2609A-I2	FMA-LP2609A-V2	3?? FNPT	50 SLM
FMA-LP2610A	FMA-LP2610A-I	FMA-LP2610A-I2	FMA-LP2610A-V2	3?? FNPT	100 SLM
FMA-LP2611A	FMA-LP2611A-I	FMA-LP2611A-I2	FMA-LP2611A-V2	3?? FNPT	250 SLM
FMA-LP2612A	FMA-LP2612A-I	FMA-LP2612A-I2	FMA-LP2612A-V2	3?? FNPT	500 SLM
Accessories for FMA-2600A系列
FMA1600-C1	Replacement 8-pin male mini DIN connector cable，single ended，1.83 m (6')
FMA1600-C1-25FT	8-pin male mini DIN connector cable，single ended，7.62 m (25')
FMA1600-C2	8-pin male mini DIN connector cable，double ended，1.83 m (6')
FMA1600-C2-25FT	8-pin male mini DIN connector cable，double ended，7.62 m (25')
FMA1600-C3	8-pin male mini DIN to DB9 female adaptor，1.83 m (6')
FMA1600-CRA	8-pin male right-angle mini DIN cable，single ended，1.83 m (6')
FMA1600-MDB	Multi-drop box
FMA1600-PSU	Universal 100 to 240 Vac to 24 Vdc power supply adaptor

注: "配備24 Vdc通用電源，1.8 m（6'）電纜，8針公頭Mini-DIN連接器，操作手冊和NIST證書。

標準裝置經(jīng)過以下校準：在5 psig空氣壓力下為0-1 LPM，在15 psig下為2-10 LPM，在30 psig下為20-100 LPM，在50 psig為200 LPM及以上。

如需自定義校準，請在型號中添加后綴""-(*)""，無需額外費用。* 請指定氣體、入口/出口或背壓以進行自定義校準。

僅在環(huán)境溫度（25℃/77℉）下完成校準。

如需將RS232通信更換為RS485，請在型號中添加后綴“-RS485”，加價120美元。

標準輸入為0-5 V，對于可選的4~20 mA輸入，請在型號中添加后綴“-IN”，無需額外收費。

可選的二級輸出標度與主輸出量程相同。如需備用輸出標度，對于溫度請在型號中添加后綴""-T""，或?qū)τ趬毫φ堅谛吞栔刑砑雍缶Y""-P""，無需額外費用。

如需以SCFH標定的產(chǎn)品，請在型號中添加后綴""-SCFH""，無需額外費用。請在SCFH中指定所需的范圍。

如需累加器，請在型號中添加后綴“-TOT”，加價120美元。請指定分辨率。

這是一款6位計數(shù)器。示例： 以升為單位使用1/100升分辨率累加時，至大計數(shù)為9999.99。以升為單位使用1升分辨率累加時，至大計數(shù)為999999。

如需遠程顯示屏，請在型號中添加后綴“-RD- * FT”，加價210美元。請將后綴中的*替換為所需的長度（全部以英尺為單位），至大長度為3.6576 m（12'）。請注意，以英尺為單位的至佳距離介于2.7-3 m（9-10'）之間。

以太網(wǎng)/IP、DeviceNet、Modbus和Profibus通信也需額外付費。